Název: Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích
Překlad názvu: Advanced Laser Measuring Systems in Nanometrology
Autoři: Lazar, Josef ; Hrabina, Jan ; Holá, Miroslava ; Vychodil, M.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: LASER53, Třešť (CZ), 2013-10-30 / 2013-11-01
Rok: 2013
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Příspěvek popisuje výsledky společného projektu ÚPT a firmy Meopta – optika zaměřeného na vývoj interferometrických systémů pro měření v nanotechnologiích. Na ÚPT AV ČR jde o navázání na výsledky výzkumu na poli interferometrického měření vzdáleností a laserů s vysokou koherencí, stabilizace optické frekvence laserů a laserové metrologie. Jde o výzkumné práce zaměřené na průmyslovou interferometrii a v součinnosti s firmou Meopta - optika, s.r.o. o předání potřebného know-how pro přípravu výroby. Náplň projektu je zaměřená na výzkum technologie výroby, metodiky interferometrického měření, stabilizace frekvence laserových zdrojů záření, detekčních systémů interferenčního signálu, zpracování signálů, vše s důrazem na přesnost a rozlišení primárně pro měření v nanosvětě. Cílem společného úsilí je komplexní interferometrický měřicí systém v podobě funkčního vzoru, který bude sloužit jako východisko pro výrobu. Půjde o modulární rodinu komponentů konfigurovatelných pro různé sestavy využití především pro víceosé měření v nanotechnologiích a testování povrchů. We present a development of a nanometrology system combining local probe microscopy and precise positioning and measuring in the nanoscale. The positioning operates in short range with a focus on precision; displacement measurement controls the sample stage in six degrees of freedom with high-resolution interferometry. The system is designed to operate as a national standard for nanometrology. The contribution presents collaborative work with Meopta company.
Klíčová slova: dimensional metrology; interferometry; nanometrology; positioning
Číslo projektu: TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP), ED0017/01/01
Poskytovatel projektu: GA TA ČR, GA TA ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: Sborník příspěvků multioborové konference LASER53, ISBN 978-80-87441-10-7

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0227655

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-166199


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference