Original title: Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii
Translated title: Multidimensional interferometric measuremenr system for AFM microscopy - national standard for nanometrology
Authors: Hrabina, Jan
Document type: Papers
Conference/Event: LASER53, Třešť (CZ), 2013-10-30 / 2013-11-01
Year: 2013
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Příspěvek prezentuje výsledky výzkumu na interferometrickém odměřovacím 6-osém systému pro mikroskopii s lokální sondou. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s Českým metrologickým institutem v Brně a je v sestavě s AFM mikroskopem (mikroskop atomárních sil) určeno k provozu jako národní nanometrologický etalon. Systém sestává z komerčního nanopolohovacího stolku řízeného piezoelektrickými aktuátory s možností polohování, metrologického rámu a laserem napájené interferometrické sestavy pro odměřování polohy ve všech šesti osách volnosti. We present the design and performance characteristics of 6-axis interferometric measurement system for local probe microscopy. Described measurement tool was developed in colaboration with the Czech Metrological Institute in Brno and it is intended to solve as a national nanometrological standard. The system in based on a commercial nanopositioning sample table controlled by piezoelectric transducers, a metrological frame and a laser interferometric setup for dimensional measurements in six degrees of freedom.
Keywords: AFM; interferometry; nanometrology
Project no.: GPP102/11/P820 (CEP), ED0017/01/01, EE2.4.31.0016, TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP)
Funding provider: GA ČR, GA MŠk, GA MŠk, GA TA ČR, GA TA ČR
Host item entry: Sborník příspěvků multioborové konference LASER53, ISBN 978-80-87441-10-7

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0227652

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-166197


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers