Název: Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii
Překlad názvu: Multidimensional interferometric measuremenr system for AFM microscopy - national standard for nanometrology
Autoři: Hrabina, Jan
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: LASER53, Třešť (CZ), 2013-10-30 / 2013-11-01
Rok: 2013
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Příspěvek prezentuje výsledky výzkumu na interferometrickém odměřovacím 6-osém systému pro mikroskopii s lokální sondou. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s Českým metrologickým institutem v Brně a je v sestavě s AFM mikroskopem (mikroskop atomárních sil) určeno k provozu jako národní nanometrologický etalon. Systém sestává z komerčního nanopolohovacího stolku řízeného piezoelektrickými aktuátory s možností polohování, metrologického rámu a laserem napájené interferometrické sestavy pro odměřování polohy ve všech šesti osách volnosti. We present the design and performance characteristics of 6-axis interferometric measurement system for local probe microscopy. Described measurement tool was developed in colaboration with the Czech Metrological Institute in Brno and it is intended to solve as a national nanometrological standard. The system in based on a commercial nanopositioning sample table controlled by piezoelectric transducers, a metrological frame and a laser interferometric setup for dimensional measurements in six degrees of freedom.
Klíčová slova: AFM; interferometry; nanometrology
Číslo projektu: GPP102/11/P820 (CEP), ED0017/01/01, EE2.4.31.0016, TA02010711 (CEP), TE01020233 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA MŠk, GA MŠk, GA TA ČR, GA TA ČR
Zdrojový dokument: Sborník příspěvků multioborové konference LASER53, ISBN 978-80-87441-10-7

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0227652

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-166197


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference