Název: Measurements of current density distribution in e-beam writer
Autoři: Bok, Jan ; Kolařík, Vladimír
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./, Skalský dvůr (CZ), 2012-06-25 / 2012-06-29
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: An e-beam writer with a variable shaped beam needs a bright and stable source of electrons but also a homogeneous square beam segment. This is the starting element out oif wich smaller rectangular-shaped variable-sized patterns are selected (stamps). Current inhomogeneity of the starting element would cause and different current density of various stamps that negatively impacts the exposure quality. This problem implies the necessity of analysing and monitoring the current density distribution in the staring beam element.
Klíčová slova: e-beam writer; measurement of current density
Číslo projektu: ED0017/01/01, FR-TI1/576 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA MPO
Zdrojový dokument: Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-87441-07-7

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0215682

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-135990


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference