|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Diagnostika nízkoteplotního plazmatu pomocí Langmuirovy a emisní sondy
Klusoň, Jan ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Tichý, Milan (oponent)
Magnetronové naprašování patří mezi nejvýznamnější metody výroby tenkých vrstev s velmi rozmanitými fyzikálními vlastnostmi. Jako příklad lze uvést vrstvy vynikající svojí tvrdostí, odolností, nízkým třením a rovněž vrstvy se specifickými elektrickými nebo optickými vlastnostmi. Základní naprašovací proces byl v průběhu vývoje významně zdokonalen a v současnosti existuje celá řada technik magnetronového naprašování. Jednu z těchto technik představuje pulzní magnetronové naprašování. Pulzní režim je zvláště vhodný pro depozici elektricky nevodivých materiálů, neboť při něm nedochází k nabíjení odprašovaného terče a následným obloukovým výbojům. Podstatný je rovněž fakt, že v pulzním režimu lze deponovat na substráty při nižších teplotách. Předmětem této práce je studium nízkoteplotního plazmatu v magnetronovém výboji buzeném pulzním stejnosměrným napětím. Měření bylo realizováno na experimentální aparatuře válcového magnetronu. Diagnostika plazmatu byla prováděna prostřednictvím elektrostatické Langmuirovy a emisní sondy. V časovém a prostorovém rozlišení byly zjišťovány průběhy základních parametrů plazmatu, tj. elektronové koncentrace, elektronové teploty a potenciálu plazmatu. Změřeny byly závislosti na tlaku, délce napěťového pulzu a na velikosti budicího napětí.
|
|
| |
|
| |
|
|
Tvorba radikálů v plazmatu výboje v supersonické trysce
Mašát, Milan ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Glosík, Juraj (oponent)
Nazev prace: Tvorba radikalu v plazmatu vyboje v supersonicke trysce Autor: Milan Masat Katedra (ustav): Katedra fyziky povrchu a plazmatu Vedouci diplomove prace: Prof. RNDr. Milan Tichy, DrSc. e-mail vedouciho: Milan.Tichy@mif.cuni.cz Abstrakl: Volne radikaly hraji klfcovou ulohu v chemickych reakcich v atmosfefe zeme. Studium jejich struktury a chemickych vlastnosti je tedy dulezite pro pochopeni deju v atmosfefe. Jejich vysoka reaktivita ale pfinaSi potfebu speciflckych metod zkoumani, mezi hiavni omezeni patfi kratka doba zivota a tedy nutnost jejich zkoumani ihned po jejich tvorbe. Pfi pouziti bfiznych laboratornich metod tvorby radikalu tyto vznikaji s teplotami vyrazne vySSimi nez v podmtnkach atmosfery, kterym se chceme v laboratofi pfiblizit. V ramci teto diplomove" prace jsem pracoval na vyvoji zdroje chladnych radikdlu a zafizeni pro zkoumani jejich charakteristik. Kombinuji zde plazmaticky zdroj, ktery poskytuje dostateCne koncentrace volnych radikalu se supersonickou expanzi, ve ktere jsou translaCni i vnitfni stavy radikalu ochlazeny na tcploty hluboce pod pokojovou teplotou. K jejich charakterizacijsem vyuzil metody spektroskopie s vysokym rozlisenim za pouziti diodovych laseru pracujicich v blizke infracervene oblasti. V ramci teto prace probdhl i vyvoj a vyroba elektronickych zafizeni a...
|
|
| |
|
| |
host ::
RSS.