| |
| |
|
Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX
Jašek, O. ; Karásková, M. ; Buršíková, V. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Frgala, Z. ; Matějková, Jiřina ; Rek, Antonín ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří
Nanokrystalické diamantové (NCD) vrstvy byly připraveny depozicí z plynné fáze (CVD) za nízkého tlaku v mikrovlnném plazmatu generovaném v reaktou typu ASTEX. Vrstvy byly připraveny na křemíkových substrátech s orientací (111) ze směsi metanu (9 procent) a vodíku při teplotě substrátu 1090 K. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a pracovní tlak činil 7,5 kPa. Pro účel nukleace byl substrát vystaven vysokofrekvenčnímu výboji, který vytvářel samopředpětí -125 V. Připravené vrstvy vykazovaly velmi malou drsnost (kvadratická odchylka výšek 9,1 nm) a tvrdost a elastický modul dosahovaly hodnot 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny pomocí elipsometrie a měření reflexe a vyhodnoceny na základě Rayleigh-Riceovi teorie a disperzního modelu založeného na parametrizaci hustoty stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min a to včetně 5 minutové nukleační fáze.
|
| |
|
Studium mechanických vlastností supertvrdých nanostrukturních vrstev
Buršíková, V. ; Jašek, O. ; Frgala, Z. ; Karásková, M. ; Zajíčková, L. ; Buršík, Jiří ; Bláhová, O. ; Grančič, B. ; Mikula, M. ; Klapetek, P.
Studium mechanických vlastností supertvrdých nanostrukturních vrstev.
|
| |
| |
| |
|
Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev
Buršíková, V. ; Frgala, Z. ; Jašek, O. ; Karásková, M. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Buršík, Jiří ; Klapetek, P. ; Bláhová, O. ; Matějková, Jiřina
Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev.
|
| |