|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, Pavel ; Kadlec, Jaromír (oponent) ; Rek, Antonín (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.
|
|
Vliv pracovních podmínek v ESEM na výsledky EDS
Pospíchal, David ; Čech, Ondřej (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá energiově disperzní spektroskopií a detekcí charakteristického rentgenového záření v oblasti environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Cílem semestrální práce je porovnat výsledky prvkové mikroanalýzy vzorku při optimálních podmínkách a sledovat změny výsledků při změně pracovních podmínek, resp. tlaku dusíku a vodních par v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu Vega3 XMU s LaB6 katodou firmy TESCAN, a.s osazeného spektroskopem Xflash 6|10 firmy Bruker.
|
|
Vliv podmínek mechanického legování na kontaminaci práškových směsí a bulk materiálů
Kubíček, Antonín ; Hadraba, Hynek (oponent) ; Moravčík, Igor (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá vlivem procesních parametrů na úroveň kontaminace práškových materiálů vyráběných metodou mechanického legování. Pro tyto účely byly pomocí vysoce energetického mletí v mlýnu připravovány austenitická korozivzdorná ocel AISI 316 L a vysoce-entropická slitina (HEA) CoCrFeNi. Přičemž oba tyto materiály byly postupně mlety v atmosférách argonu a dusíku v rozsahu od 5 do 30 hodin. Vybrané práškové vzorky byly následně zhutněny pomocí metody Spark plasma sintering (SPS). U vzorků s různými délkami mletí byla provedena pomocí spalovacích analyzátorů chemická analýza obsahů uhlíku, kyslíku a dusíku. Byly také měřeny rozdíly v chemickém složení práškových vzorků a jim příslušejících hutných („bulk“) těles. Následná mikrostrukturní analýza, zaměřená především na přítomnost oxidů a karbidů, byla provedena s využitím rastrovací elektronové mikroskopie (SEM). U všech analyzovaných vzorků byl pozorován nárůst obsahů uhlíku s délkou jejich mletí. Tato kontaminace je přisuzována použití mlecího vybavení z nástrojové oceli AISI D2 (obsahující 1,55 hm. % uhlíku). Ke zvýšení obsahů uhlíku zkoumaných vzorků došlo také v rámci jejich slinutí pomocí metody SPS. Mletí v atmosféře N2 vedlo u vzorků HEA i AISI 316 L k vyšší úrovni kontaminace než v případě mletí v Ar.
|
|
Studium morfologie tenkých vrstev organických molekulárních látek
Schön, Martin ; Vala, Martin (oponent) ; Salyk, Ota (vedoucí práce)
Tato práce pojednává o studiu morfologie tenkých vrstev organických molekulárních látek. K přípravě tenkých vrstev byla použita metoda vakuového napařování. V teoretické části je popsána použitá vakuová technika a měřící přístroje. Ve druhé části je potom popsán samotný experiment. Vlastnosti a morfologie připravených vrstev jsou zkoumány především za použití rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM). Byl zkoumán vliv teploty depozice a vzdálenost podložky od odpařovadla na morfologii vrstvy. Tenké vrstvy diketopyrrolopyrrolů (DPP) a jejich deriváty projevují zajímavé chemické i fyzikální vlastnosti a předpokládá se možnost jejich budoucího využití, především v elektronickém průmyslu.
|
|
Analysis and characterisation of spirally-arranged field-emission nanostructure
Ondříšková, Martina ; Sobola, Dinara (oponent) ; Knápek, Alexandr (vedoucí práce)
Cathodes containing arrays of high aspect ratio field emitters are of great interest as sources of electron beams for vacuum electronic devices. The desire to maximize current and current density leads to the design of denser arrays. However, denser arrays lead to undesirable field shielding effects caused by the presence of surrounding emitters in the array. To reduce the shielding effect and thus maximize the field enhancement, an array of emitters was designed with an arrangement inspired by the natural phenomenon of phyllotaxis. The structure thus designed was created using electron beam lithography and reactive ion etching to form micropillars. A black silicon etching technique was used to create ultra-sharp tips with a radius in the order of tens of nanometers on the top of each micropillar. Analysis of the sample topography was performed by Scanning electron microscopy. Ultraviolet photoelectron spectroscopy was used to determine the work function. To find out the emission properties of the fabricated structures, a Field emission microscope was constructed and its electron gun was modified to experimentally use the fabricated structure as the cathode. A Murphy-Good plot was used to analyze the field emission data, to which the orthodoxy test was applied to check the validity of the experimental I-V data. Current stability measurement was performed to observe current fluctuations.
|
|
Optimalizace scintilačního detektoru pro detekci nízkoenegiových signálních elektronů v elektronové mikroskopii
Tihlaříková, Eva ; Kadlec, Jaromír (oponent) ; Uruba, Václav (oponent) ; Neděla, Vilém (vedoucí práce)
Dizertační práce se zabývá optimalizací scintilačního detektoru pro účinnou detekci nízkoenergiových signálních elektronů v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu. Řešení vycházelo ze studia mechanismů ztrát energie signálních elektronů během jejich interakce s vodivou vrstvou a scintilátorem, které je možné studovat pomocí simulací založených na stochastické metodě Monte Carlo. Na základě testovacích simulací a srovnání jejich výsledků s dostupnými experimentálními daty byl vybrán vhodný Monte Carlo software. Následně byly kvantifikovány ztráty energie signálních elektronů rozdílných energií při jejich průchodu konkrétními vodivými vrstvami na povrchu scintilátorů a během jejich interakce se scintilátory. Výsledky simulací umožnily definovat kritéria pro optimalizaci vodivých vrstev, které byly následně naneseny na scintilátory a experimentálně měřeny ve scintilačním detektoru rastrovacího elektronového mikroskopu. Tato měření umožnila verifikovat výsledky simulací a poskytla řadu nových informací o vlivu materiálu a tloušťky vodivých vrstev, v kombinaci s materiálem scintilátoru a světlovodu. Zvýšení detekční účinnosti scintilačního detektoru s optimalizovanými vodivými vrstvami, schopného detekovat nízkoenergiové signálních elektrony, bylo experimentálně prokázáno.
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, Adam ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce pojednává o teoretických poznatcích z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie a environmentální rastrovací elektronové mikroskopie. Popisuje princip činnosti, signály vznikající při interakci primárního svazku elektronů se vzorkem a způsob detekce signálu sekundárních elektronů v environmentálních podmínkách pomocí scintilačního detektoru. Dále se práce zaměřuje na optimalizaci detekce sekundárních elektronů pomocí úprav elektrodového systému scintilačního detektoru. K úpravě je využit počítačový program Simion, kterým jsou modelovány trajektorie signálních elektronů v elektrostatických polích uvnitř detektoru. Provedené simulace byly východiskem pro konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost upraveného detektoru byla určena popsanou metodou z vyhodnocení velikosti signálu z pořízených snímků, schopnost detekovat sekundární elektrony z napěťového kontrastu a kvalita snímků z poměru signálu k šumu.
|
| |
|
Konstrukce oddělovacího ventilu trysky pro rastrovací elektronový mikroskop
Hoffman, Petr ; Navrátil, Václav (oponent) ; Foltýnová, Dana (vedoucí práce)
Cílem této bakalářské práce je návrh a následná konstrukce vakuového oddělovacího ventilu pro rastrovací elektronový mikroskop. V úvodu práce jsou popsány funkce oddělovacího ventilu. Funkce rastrovacího elektronového mikroskopu je popsána v přehledu současného stavu poznání. Následují tři koncepční návrhy ventilu, jejich popis, výhody a nevýhody. Na základě porovnání bylo vybráno nejvhodnější řešení. V práci je dále proveden silový rozbor zvolené varianty. V závěru práce je navržena celá konstrukce a zpracovaná výkresová dokumentace ventilu.
|
|
Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot
Axman, Tomáš ; Zigo,, Juraj (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se zabývá popisem současného stavu vyvíjeného zařízení a rešerší konkurenčních systémů. Další část popisuje optimalizaci nosiče vzorku a receptoru paletek pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot. Součástí optimalizace je i vývoj safírové tepelné diody a experimentální ověření funkčnosti navržených součástí. Následuje ověření funkčnosti celého zakládacího systému transportu vzorků do oblasti s UHV, depozice pomocí efuzní cely a pozorování in situ.
|