Název: SMV-2023-58: Design elektronově optických systémů
Překlad názvu: SMV-2023-58: Design of Electron Optical Elements
Autoři: Radlička, Tomáš
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2023
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
V rámci smluvního výzkum byla navržená nová generace systému pro detekci sekundárních elektronů v multibeam skenovacím elektronovém mikroskopu. Dále jsme popsali optické vlastnosti NiCol tubusu s hexapolovým korektorem sférické aberace. The contractual research covered design of new genration of secondary electron detector for the multibeam scanning electron microscope. We also calculated the electron optical properties of NiCol column with hexapole corrector of spherical aberration.
Klíčová slova: aberrations; electron optical design; resolution

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11104/0349178

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-613891


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy