Original title: Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování
Translated title: Upgrade of the device for depositions by ion beam sputtering
Authors: Páleníček, Michal ; Mach, Jindřich (referee) ; Bábor, Petr (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2010
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena na popis stávající depoziční komory a její princip. Největší část práce se zabývá popisem návrhů aparatury pro zakládání vzorků. První návrh, od kterého se opustilo, je popsán jen stručně, u druhého návrhu jsou rozepsány jednotlivé kroky a řešení. V práci je i jednoduchý návod na zakládání vzorků. Na závěr jsou prezentovány výsledky simulací chladícího sytému vzorků a průhybu magnetické tyče. This thesis deals with concept and realization of device which allows loading without air intake. Vacuum technology and its theoretical bases are discussed as well. Moreover the thesis is based on description of the current deposition chamber and its principles. The main part deals with the description of the concepts of lock and load systems. The first concept that has not been realized is described just briefly. The second one is thorough with description of the individual solutions and methods. The work also contains simple instructions how to install the specimen. At the end are described some outputs of simulations that have been done to comprehend and solve any problems that might occur as specimen holder cooling and deflection of magnetic rod.
Keywords: ION SPUTERING; LOADING CHAMBER; LOCK AND LOAD SYSTEMS; VACUUM LOADING; VACUUM TRANSPORT; IONTOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ; VAKUOVÉ ZAKLÁDÁNÍ; VAKUOVÝ TRANSPORT; ZAKLÁDACÍ KOMORA; ZAKLÁDACÍ SYSTÉMY

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/23148

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-568210


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses