Název: Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM
Překlad názvu: Voltage contrast method at detection of secondary electrons by scintillation detector in VP SEM
Autoři: Jabůrek, Ladislav ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2011
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato diplomová práce se zabývá problematikou elektronového rastrovacího mikroskopu pracujícího při vyšším tlaku v komoře vzorku. Hlavním cílem práce bylo sledování napěťového kontrastu na přechodu PN výkonového transistoru za vhodných pracovních podmínek za pomocí environmentální rastrovacího mikroskopu. Pozorování vzorku bylo umožněno pomocí scintilačního detektoru určeného pro pozorování ve vysokém tlaku. This thesis deals with scanning electron microscope working at higher pressure in the specimen chamber. The main goal was to study the voltage contrast on the PN junction of the transistor under suitable working conditions for using environmental scanning microscope. The observation of sample was enabled by a scintillation detector designed for observation of high pressure.
Klíčová slova: Environmentální rastrovací elektronová mikroskop (ESEM; napěťový kontrast.; Rastrovací elektronový mikroskop (SEM); scintilační detektor pro vyšší tlak; sekundární elektrony; VP SEM); envitonmental scanning electron microscope (ESEM; Scanning electron mikroscope (SEM); scintillation detector for higher pressure; secondary electron; voltage contrast; VP SEM)

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/8170

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-558137


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce