Název: Ionizační detektor pro ESEM
Překlad názvu: Ionization detector for ESEM
Autoři: Pokluda, Tomáš ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2013
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Diplomová práce je zaměřena na problematiku environmentálních rastrovacích elektronových mikroskopů, včetně popisu základních fyzikálních mechanismů. Popisuje návrh a realizaci elektrodového systému ionizačního detektoru vhodného pro detekci signálních elektronů s větším podílem sekundárních elektronů. Dále se zabývá simulacemi drah elektronů v elektrostatickém poli detektoru a ověřením funkčnosti detektoru v prostředí vodních par v komoře vzorku elektronového mikroskopu. This thesis is focused on the environmental scanning electron microscopes including a description of the basic physical mechanisms. It describes the design and realization of the electrode ionization detector system suitable for the detection of signal electrons with a greater proportion of secondary electrons. It also deals with simulations of trajectories of electrons in the electrostatic field of the detector, and with verification of the functionality of the detector in the environment of water vapors in the specimen chamber of the electron microscope.
Klíčová slova: Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; ionizační detektor; sekundární elektrony; zpětně odražené elektrony; úroveň signálu.; back scattered electrons; Environmental scanning electron microscope; ionization detector; secondary electrons; signal level.

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/27258

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-548358


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce