Název: SMV-2022-03: Morfologie a diagnostika spektrometrových zrcadel v SEM
Překlad názvu: SMV-2022-03: Morphology and diagnostic of spectrometer mirrors in SEM
Autoři: Mika, Filip
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2022
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Vypracování metodiky přesného určení materiálů a morfologie diagnostických zrcadel s pomocí SEM. Methodology of exact determination of elemental composition and critical dimensions of spectrometer mirrors with the SEM.
Klíčová slova: energy-filtered electron microscopy; morphology; non-charging electron microscopy

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11104/0337340

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-511995


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy