Název: SMV-2020-31: Návrh a simulace elektronově optických prvků
Překlad názvu: SMV-2020-31: Electron Optical Elements Design and Simulations
Autoři: Radlička, Tomáš
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2020
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
V rámci smluvního výzkum bylo zpracováno několik studií proveditelnosti týkajících se optických vlastností elektronově optických elementů, optimalizace jejich designu a jejich možné integrace do elektronového mikroskopu. To zahrnovalo výpočet vad metodou diferenciálních algeber, výpočet rozlišení pomocí vlnově optických výpočtů a analýzu vad seřízení. Kromě designu jsme se také zabývali možností přípravy optického elementu, jehož součástí je grafénová fólie. The contractual research covered several feasibility studies in the field of electron-optical design and simulations. We studied several electron-optical elements, including calculating the electron-optical properties, optimizing the design, and possible integration into the primary beam column. We used the differential-algebraic method for the calculation of aberrations and wave-optical calculations for the analysis of resolution. We also analyzed the effect of misalignment aberrations. Besides the electron-optical design, we studied the possibility of the construction of the element with graphene foil.
Klíčová slova: aberrations; electron optical design; resolution

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0314445

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-432446


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy