Original title: Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty
Translated title: Nanocompression of oriented pillars from Al thin film
Authors: Kuběna, Ivo ; Kruml, Tomáš
Document type: Papers
Conference/Event: ENGINEERING MECHANICS 2010, Svratka (CZ), 2010-05-10 / 2010-05-13
Year: 2010
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích. In this paper, a new method of measurement of mechanical properties of thin films is presented. This method combines specimen preparation by focused ion beam (FIB) and compression test using nanoindentation device. Compression specimens were prepared from thin film, Al-1.5%Cu, which is commonly used in integrated circuit. Cylindrical specimens were prepared by FIB milling. The height of specimens (pillars) was about 2 mircrometers (equal to the film thickness) and their diameter was about 1.3 micrometers. The pillars are single crystalline, therefore the results depend on crystallographic orientation of pillar, which was specified by EBSD (electron backscatter diffraction). Stress-strain curves of the thin film were obtained in two representations.
Keywords: focused ion beam; nanocompression; thin Al film
Project no.: CEZ:AV0Z20410507 (CEP)
Host item entry: Engineering Mechanics 2010, ISBN 978-80-87012-26-0

Institution: Institute of Physics of Materials AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0193030

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-42374


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics of Materials
Conference materials > Papers