Název: Use of electronics product definition for the development of differentially pumped chamber
Autoři: Maxa, J. ; Neděla, Vilém
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EDS '10 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference, Brno (CZ), 2010-09-01 / 2010-09-02
Rok: 2010
Jazyk: eng
Abstrakt: Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination various types of specimens and their phases. The article analyses 3nd compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system.
Klíčová slova: CAx; Cosmos; EREM; FEI; SolidWorks
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GAP102/10/1410 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: EDS'10 - Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2010 - Proceedings, ISBN 978-80-214-4138-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0192070

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-42244


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference