Název:
SMV-2019-16: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého EUV systému
Překlad názvu:
SMV-2019-16: Deposition technology and implementation of EUV multilayer system
Autoři:
Fořt, Tomáš Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2019
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvých systémů střídajících ve dvojvrstvách hořčík a křemík popřípadě molybden a křemík vytvořené magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,1 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru. Mnohovrstvý systém byl použit jako EUV zrcadlo.We have developed deposition technology and implementation of multilayer systems of Mg/Si or molybdenum and silicon prepared by magnetron sputtering. Interface roughness has to be smaller than 0.1 nm and reproducibility of bilayer thickness (i.e. molybdenum or Mg and silicon) must be better that 0.1 nm. This multilayer system was used as a EUV mirror.
Klíčová slova:
EUV mirror; Extreme Ultraviolet mirror; X-ray mirror
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0303601