Název:
SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu:
SMV-2019-06: Development of test specimens for SEM
Autoři:
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Knápek, Alexandr Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2019
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Smluvní výzkum se týká vývoj v oblasti přípravy přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM). Pro přípravu preparátů jsou vyvíjeny mikro litografické techniky opracování křemíku a další související technologické postupy.Contract research is concerned with the development of precision relief structures in silicon for testing of scanning electron microscopy (REM) imaging. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.
Klíčová slova:
calibration specimen; e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0303306