Original title:
Epitaxní růst z kapalné fáze
Translated title:
Liquid phase epitaxy
Authors:
Nohavica, Dušan Document type: Papers Conference/Event: Škola růstu krystalů, Hnanice-Znojmo (CZ), 2008-09-01 / 2008-09-02
Year:
2008
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Poměrně rozsáhlá přednáška shrnuje základní aspekty přípravy epitaxních vrstev z kapalné fáze (LPE), s důrazem ne deposici polovodičů. Jsou uvedeny způsoby dosažení maximální reprodukovatelnosti růstového procesu a účinnosti deposice. Důraz je rovněž kladen na rozbor mechanizmů tvorby dislokací v epitaxních vrstvách.Extended lecture collects mojority aspect of the "Liquid Phase Epitaxy", LPE, with special attention to the semiconductors growth. Methods of growth modifications enabling to increase growth reproduction and deposition efficiency are included. Also dislocations generation by different mechanisms is discussed in the article.
Keywords:
dislocations; liquid phase epitaxial growth; stacking faults Project no.: CEZ:AV0Z10100521 (CEP) Host item entry: Škola růstu krystalů 2008, ISBN 978-80-254-2651-7
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0172225