Název: Techniky využívající svazek nabitých částic k zobrazení a analýze materiálů
Překlad názvu: Techniques using beam of charged particles for imaging and material analysis
Autoři: Lamborová, Leona ; Kičmerová, Dina (oponent) ; Čupera, Jan (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2019
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá technikami využívající svazek nabitých částic pro zobrazení a analýzu materiálu. Mezi nabité částice využívající se pro tyto účely patří elektrony a ionty. Tato rešeršní práce je tedy rozdělena na podstatu elektronové a podstatu iontové optiky. Dále je zde pojednáno o principu funkce, konstrukci a detektorech, které slouží k obrazové a chemické analýze skenovací elektronové mikroskopie, transmisní elektronové mikroskopie a metody fokusovaného iontového svazku. This bachelor´s thesis deals with techniques using beam of charged particles for imaging and material analysis. There are two types of charged particles that are used for this purpose, electrons and ions. This research study is divided into principles of electron optics and principles of ion optics. Further, there is mentioned function, construction and detectors used for imaging and chemical analysis of scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and focused ion beam.
Klíčová slova: metoda fokusovaného iontového svazku; Skenovací elektronová mikroskopie; svazek nabitých částic; transmisní elektronová mikroskopie; beam of charged particles; focused ion beam; Scanning electron microscopy; transmission electron microscopy

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/176661

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-401705


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce