Original title: The Performance of Amorphous Carbon Films with Silicon Content Deposited Using Low Pressure PECVD
Translated title: Funkčnost amorfních uhlíkových povlaků s obsahem křemíku deponovaných použitím nízkotlaké PECVD
Authors: Sobota, Jaroslav ; Buršíková, V. ; Fořt, T. ; Grossman, Jan ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří ; Franta, D. ; Peřina, Vratislav
Document type: Papers
Conference/Event: Vrstvy a povlaky 2008, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-09-29 / 2008-09-30
Year: 2008
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Amorphous carbon films with silicon content were deposited using low pressure PECVD. The films were optimised for deposition on steel substrates. To evaluate the impact resistance of graded amorphous carbon films in dynamic loading wear applications an impact test has been used. Amorfní vrstvy uhlíku dopované křemíkem byly deponovány PECVD. Vrstvy byly optimalizovány pro depozici na ocelové podložky. K vyhodnocení chování při dynamickém zatěžování byl použit impaktní tester.
Keywords: DLC; impact tests; mechanical properties; PECVD
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), CEZ:AV0Z20410507 (CEP), CEZ:AV0Z10480505 (CEP), GA202/07/1669 (CEP), KAN311610701 (CEP)
Funding provider: GA ČR, GA AV ČR
Host item entry: Vrstvy a povlaky 2008, ISBN 978-80-969310-7-1

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0004883

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39462


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers