Název: Real time observation of strain in the SEM sample
Autoři: Piňos, Jakub ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 20180604
Rok: 2018
Jazyk: eng
Abstrakt: The SEM with various detector arrangements and analytical attachments represents an\nirreplaceable tool in material research. One of the techniques available in most contemporary\nmicroscopes is the scanning low energy electron microscopy (SLEEM) with biased specimen, marketed as the beam deceleration mode, gentle beam and others. The SLEEM allows\ncontrolling the information depth of the backscatter electron (BSE) imaging within a wide\nrange by altering the landing energy of electrons.
Klíčová slova: deformation; SEM; SLEEM
Zdrojový dokument: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar, ISBN 978-80-87441-23-7

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0287626

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-387509


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference