Název: RF Magnetron Sputtered Ag-Sb-S Amorphous Thin Films
Překlad názvu: Amorfní tenké vrstvy Ag-Sb-S připravené radiofrekvenčním magnetronovým naprašováním
Autoři: Gutwirth, J. ; Wágner, T. ; Drašar, Č. ; Beneš, L. ; Vlček, M. ; Hrdlička, M. ; Frumar, M. ; Schwarz, J. ; Tichá, H. ; Peřina, Vratislav
Typ dokumentu: Sborníky
Konference/Akce: Symposium on Plasma Physics an Technology /22./, Praha (CZ), 2006-06-26 / 2006-06-29
Rok: 2006
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Thin Ag-Sb-S films were prepared by RF magnetron sputtering as potential candidates for rewritable optical data storage films. There were prepared polycrystalline bulks of AgSbS2. Composition and homogeneity of these bulks were checked. Targets for RF magnetron sputtering were prepared from pulverized bulks by hot pressing technique. Targets were characterized the same way as bulks. Composition and homogeneity of prepared thin films were characterized by SEM-EDX and RBS/ERDA, amorphous/crystalline character was studied by XRD. Optical properties (spectral dependence of refractive index) were evaluated on basis of UV-Vis-NIR spectroscopy and variable angle spectral ellipsometry (VASE). Crystallization abilities were traced by thermal dependence of optical transmission of prepared thin films. RF magnetronovým naprašováním byly připraveny Ag-Sb-S tenké vrstvy jako potenciální materiál pro optický záznam dat.Složení a homogenita byla zkoumána metodami SEM-EDX, RBS, ERDA, XRD. Optické vlastnosti pomocí UV-vid. spektroskopie a elipsometrie pod proměnlivými úhly. Možnosti krystalizace byly sledovány z teplotní závislosti.
Klíčová slova: chalcogenides; RF magnetron sputtering; surface analyses
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10480505 (CEP), GA203/06/1368 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR

Instituce: Ústav jaderné fyziky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0138419

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36064


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav jaderné fyziky
Konferenční materiály > Sborníky