Název:
Optický kamerový systém pro tester elektrických vlastností polovodičových vzorků
Překlad názvu:
The camera vizualization system of precision mesuring situation for semiconductor tester
Autoři:
Kostka, František ; Starý, Robert ; Ronovský, Petr ; Krechler, Jindřich Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2005
Jazyk:
cze
Edice: Výzkumná zpráva, svazek: Z 2093/A
Abstrakt: [cze][eng] Kamerový vizualizační systém slouží k přesnému nastavení polohy snímací jehly proti zkoumanému polovodičovému vzorku upevněném na křížovém mikroposuvném stolku testeru.The CCD camera vizualization system is used for precision position setting of testing needle for topografical I/U measuring characteristic.
Klíčová slova:
cameras; closed circuit television; video equipment Číslo projektu: CEZ:AV0Z20670512 (CEP), IBS2067354 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111619