Název:
Dependence of contrast on pressure using segmental ionization detector in environmental SEM
Překlad názvu:
Závislost kontrastu na tlaku segmentového ionizačního detektoru v environmentální REM
Autoři:
Černoch, P. ; Jirák, Josef ; Autrata, Rudolf Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Rok:
2005
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Ionization detector utilizes impact ionization in electrostatic field in gaseous environment in the specimen chamber for signal detection. The contrasts between four metal materials using ionization detector with three concentric electrodes in various connection of the electrodes were monitored. As experimentally determined, the grounding of the outer electrode has a positive influence on the image contrast.Ionizační detektor využívá k detekci signálu nárazová ionizace v elektrostatickém poli v plynném prostředí komory vzorku. Byly sledovány kontrasty mezi čtyřmi kovovými materiály při použití ionizačního detektoru se třemi soustřednými elektrodami s různým zapojením těchto elektrod. Experimentem bylo zjištěno, že uzemnění vnější elektrody má kladný vliv kontrast mikrosnímku.
Klíčová slova:
ESEM; ionization detector Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: Mikroskopie 2005
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111559