Název: The information depth of backscattered electron imaging
Autoři: Piňos, Jakub ; Mikmeková, Šárka ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /15./, Skalský dvůr (CZ), 20160529
Rok: 2016
Jazyk: eng
Abstrakt: Of the conventional imaging signals in the scanning electron microscope (SEM), the secondary electrons generally reflect surface properties of the sample, while the backscattered electrons (BSE) are capable of providing information about complex properties of the target down to a certain subsurface depth. Contrast mechanisms are combined according to the energy of incident electrons and energy and angular acceptance of BSE detection. In all cases, a question arises concerning the information depth of this mode. No applicable answer provides a definition declaring this depth as that from which we still obtain useful information about the object. We can employ software simulating the electron scattering in solids,\nwhile experimental approaches are also possible. Moreover, two analytic formulas can be found in the literature.
Klíčová slova: BSE; electron microscopy; SEM
Zdrojový dokument: Proceedings of the 15th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-87441-17-6
Poznámka: Související webová stránka: http://www.trends.isibrno.cz/

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0260340

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-253628


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference