Original title: Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Translated title: Scintillation SE detector fo environmental scanning electron microscope
Authors: Odehnal, Adam ; Čudek, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2014
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce. This work contains theory about scanning electron microscopy. It describes construction, principle of operation and sinals generated by interactions between primary electron beam and specimen. Furthermore, it describes the most common method for detection of secondary electrons using scintillation detector. Next chapters are dealing with last development stage of scanning electron microscopy, which is environmental scanning electron microscopy. Experimental part is evaluating dependency of size of detected signal with scintillation detector on pressure of water vapor in specimen chamber. It also considers appropriate size of voltages enclosed on electrodes of the scintillation detector to optimize detection.
Keywords: backscattered electrons (BSE); environmental scanning electron microscope (ESEM).; primary electrons (PE); Scanning electron microscope (SEM); scintillation detector (SD); secondary electron (SE); environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM).; primární elektrony (PE); Rastrovací elektronový mikroskop (REM); scintilační detektor (SD); sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE)

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/34156

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-244423


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses