Název: Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Překlad názvu: Scintillation SE detector for ESEM
Autoři: Odehnal, Adam ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2016
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Práce pojednává o teoretických poznatcích z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie a environmentální rastrovací elektronové mikroskopie. Popisuje princip činnosti, signály vznikající při interakci primárního svazku elektronů se vzorkem a způsob detekce signálu sekundárních elektronů v environmentálních podmínkách pomocí scintilačního detektoru. Dále se práce zaměřuje na optimalizaci detekce sekundárních elektronů pomocí úprav elektrodového systému scintilačního detektoru. K úpravě je využit počítačový program Simion, kterým jsou modelovány trajektorie signálních elektronů v elektrostatických polích uvnitř detektoru. Provedené simulace byly východiskem pro konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost upraveného detektoru byla určena popsanou metodou z vyhodnocení velikosti signálu z pořízených snímků, schopnost detekovat sekundární elektrony z napěťového kontrastu a kvalita snímků z poměru signálu k šumu. Thesis deals with theoretical knowledge about scanning electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. It describes principle of operation, signals generated by interaction between primary electron beam and specimen and means of detection of secondary electron signal in environmental conditions using scintillation detector. Furthermore, thesis focuses on optimization of detection od secondary electrons by adjusting electrode system of scintillation detector. Computer program Simion is used for modelling signal electron trajectories for proper adjustments. Simulation were starting-point for adjusting the design of the detector. Detection efficiency of adjusted detector was determined by evaluating signal magnitude from captured images, secondary electron detection capability from voltage contrast and quality of the captured images from signal/noise ratio.
Klíčová slova: environmentální rastrovací elektronový mikroskop; napěťový kontrast; poměr signál/šum; Rastrovací elektronový mikroskop; scintilační detektor; scintilační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop; sekundární elektrony; environmental scanning electron microscope; Scanning electron microscope; scintillation detector; scintillation detector for environmental scanning electron microscope; secondary electron; signal/noise ratio; voltage contrast

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/59839

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-242063


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce