Original title:
Charakterizace nanostruktur deponovaných PVD a CVD technologiemi
Translated title:
Characterisation of Nanostructure Deposited by PVD and CVD Technology
Authors:
Fořt, Tomáš ; Boušek, Jaroslav (referee) ; RNDr.Vilma Buršíková, Ph.D. (referee) ; Sobota, Jaroslav (advisor) Document type: Doctoral theses
Year:
2009
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Disertační práce se zabývá mechanickými vlastnostmi tenkých otěru odolných tvrdých vrstev. Představuje metodu dynamického testování tenkých tvrdých vrstev na nově zkonstruovaném prototypu dynamického měřiče otěru. Přináší srovnání se standardními metodami zkoušení vrstev a doplňuje je o nové experimentální výsledky dynamických testů vrstev. V neposlední řadě se zabývá preparačními technikami vrstvových systémů nanesených na různé podložky a jejich charakterizace pomocí optické a elektronové mikroskopie.
The thesis deals with mechanical properties of thin hard wear-resistant coatings. The work presents a method of dynamic testing of thin hard coatings on a newly constructed prototype of impact wear tester. It provides a comparison with standard methods of layer testing and presents new experimental results of dynamic impact wear test of the coatings. Finally, the thesis covers preparation techniques of thin film systems deposited on various substrates and their characterization using optical and electron microscopy.
Keywords:
CVD; Dynamic Impact Wear Test; electron microscopy; hard composite coatings; nanoindentation; pin-on-disc; PVD; CVD; Dynamický tester otěru tenkých tvrdých vrstev; elektronová mikroskopie; nanoindentace; pin-on-disc; PVD; tvrdé kompozitní vrstvy
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/15182