Název:
SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Překlad názvu:
SMV-2015-35: Development of test speciments for SEM
Autoři:
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2015
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testovaní zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Vývoj v oblasti tvorby grafických prvků testovacích struktur. Vývoj zvýšení jakosti a přesnosti kalibračních struktur z pohledu technických postupů pro jejich přípravu.Research and development in the field of realisation of precise relief structure for testing imaging of scanning electron microscopes (SEM) using micro-lithographic techniques of recording in the silicon. Development in the field of creating of graphic elements of test structures. Development of improving the quality and accuracy of the calibration structures in terms of technical processes for their preparation.
Klíčová slova:
e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0253973