Název: Simulace optické soustavy depozičního monitoru
Překlad názvu: Simulation of optical system of deposition controller
Autoři: Doleček, Roman ; Pintr, Pavel ; Václavík, Jan
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2013
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Zpráva popisuje výsledek modelování stávajícího vysílací a přijímací optické soustavy systému pro monitorování procesu vakuové depozice. Výsledek je diskutován s pozorovanými vlastnostmi systému, zejména chování pro různé vlnové délky a optická propustnost. Na základě analýzy je provedena matematická optimalizace nastavení komponent systému s cílem zlepšení výkonu a robustnosti. The report describes results of modeling of optical system which is component of optical monitoring system applied on machines for vacuum thin film deposition. Results were compared to real behavior of system, especially chromatic properties and total throughput. A numerical optimization, based on analysis results, was performed in order to improve throughput and ruggedness of the system.
Klíčová slova: optical monitoring; optimalization; simulation; thin film

Instituce: Ústav fyziky plazmatu AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0232960

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-180206


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky plazmatu
Zprávy > Výzkumné zprávy