Název: Use systems for the analysis of gas flow
Autoři: Maxa, J. ; Neděla, Vilém ; Hladká, K. ; Vyroubal, P. ; Vaculík, S. ; Hlavatá, P.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM, Mikulov (CZ), 2014-08-26 / 2014-08-31
Rok: 2014
Jazyk: eng
Abstrakt: Environmental scanning electron microscope is explaining withdrawing of two differentially pumped chambers in a drawing area. To solve this problem is used finite volume method. This method includes several steps: - With using of mesh the area is dividing into discrete volume. - Discretization and balancing of the unknown quantities in each finite volume - Numerical solution of discretized equations.
Klíčová slova: ESEM; finite volume method
Číslo projektu: EE.2.3.20.0103
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM, ISBN 978-80-87441-12-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0238654

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-177567


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference