Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 4 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Wandrol, Petr
Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
Konstrukce nízkoenergiového REM
Vlček, Ivan
Příspěvek stručně představuje hlavní znaky navrhovaného rastrovacího mikroskopu s nízkou energií elektronů.
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
Mika, Filip
Tématem práce je studium jedné technologické vrstvy polovodičové struktury s ohraničenými dopovanými oblastmi pomocí rastrovacího mikroskopu s pomalými elektrony, a to jak v ultravysokovakuových, tak i ve standardních vakuových podmínkách. Cílem je nalezení optimálních podmínek zobrazení dopovaných oblastí a získání závislosti mezi kontrastem a hustotou příměsí.
Tvorba kontrastu při zobrazení dopovaného polovodiče v nízkoenergiovém REM
Mika, Filip ; Frank, Luděk
Velikost funkčních detailů v polovodičové struktuře se trvale zmenšuje. Mezi strukturními prvky hrají klíčovou roli lokálně dopované obrazce a existuje tedy potřeba nástrojů umožňujících jejich pozorování. Pro rychlou diagnostiku a kontrolu kvality polovodičů je používán rastrovací elektronový mikroskop se svým širokým rozsahem zvětšení, možností detekovat různé typy signálů, rychlostí sběru dat a minimálním poškozováním preparátu při pozorování, zvláště při nízkých energiích elektronů. Koncentrace dopantu v polovodiči je kvantitativně určována na základě měření úrovně obrazového kontrastu v signálu sekundárních elektronů (SE) mezi různě dopovanými oblastmi polovodiče

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.