|
|
Pokročilé techniky mikroobrábění
Šalomoun, Vojtěch ; Prášek, Jan (oponent) ; Pekárek, Jan (vedoucí práce)
Výroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.
|
|
|
Užití CAD systémů pro návrh MEMS
Lazar, Jaroslav ; Paloušek, David (oponent) ; Hartl, Martin (vedoucí práce)
Práce se zabývá CAD návrhovými nástroji pro MEMSy. První část je věnována popisu a definování pojmu MEMS a jeho základních částí. Další úsek se zabývá popisem jednotlivých metod pro výrobu MEMSů. Poslední část popisuje vybrané CAD návrhové nástroje, jejich moduly a funkce. V závěru jsou jednotlivé systémy srovnány, zhodnoceny a určena vhodnost jejich použití. Dále je zde uveden význam a výhody MEMSů.
|
|
|
Pokročilé techniky mikroobrábění
Šalomoun, Vojtěch ; Prášek, Jan (oponent) ; Pekárek, Jan (vedoucí práce)
Výroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.
|
|
|
Užití CAD systémů pro návrh MEMS
Lazar, Jaroslav ; Paloušek, David (oponent) ; Hartl, Martin (vedoucí práce)
Práce se zabývá CAD návrhovými nástroji pro MEMSy. První část je věnována popisu a definování pojmu MEMS a jeho základních částí. Další úsek se zabývá popisem jednotlivých metod pro výrobu MEMSů. Poslední část popisuje vybrané CAD návrhové nástroje, jejich moduly a funkce. V závěru jsou jednotlivé systémy srovnány, zhodnoceny a určena vhodnost jejich použití. Dále je zde uveden význam a výhody MEMSů.
|
host ::
RSS.