|
|
Plasma-Assisted Deposition of Functional Bioactive Nanostructured Films
SEZEMSKÝ, Petr
Ph.D. práce se zaměřuje na interdisciplinární výzkum pokročilých materiálů pro vývoj biosenzorů s více doménovými senzorovými schopnostmi pro detekci biomolekul a patogenů, konkrétně spirochét lymské boreliózy, Borrelia burgdorferi s.l. Strategie výroby biosenzorů je založena na optickém vláknu, jehož povrch je pokryt pečlivě přizpůsobenými nanostrukturovanými tenkými vrstvami pomocí nízkoteplotního plazmatu. Práce demonstruje, že tenké vrstvy oxidu india a cínu (ITO), nanesené magnetronovým naprašováním na povrch optického vlákna, mohou sloužit jako účinný převodník pro elektrochemická a optická měření. Optická měření jsou založena na určování indexu lomu s využitím rezonance ztrátových módů (LMR), zatímco elektrochemická měření jsou prováděna převážně cyklickou voltametrií. Je ukázáno, že optimální design aktivního povrchu na optickém vláknu umožňuje současnou (v čase a in situ) optickou a elektrochemickou analýzu kapalin a detekci biologických komplexů včetně markerů patogenů lymské boreliózy.
|
|
|
Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu
KOZLOVÁ, Miroslava
Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek.
|
|
|
Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev
CIFREUND, David
Bakalářská práce je zaměřena na dávkovací systém pro PECVD procesy v prostředí nízkoteplotního plazmatu. Klíčem úspěšných depozic je přesný a stabilní průtok prekurzoru do reaktoru, kde probíhají výboje různého druhu, využívané pro depozici tenkých vrstev. V případě, že je příměsí prekurzoru kapalina, je potřeba ji smíchat s nosným plynem a výslednou směs převést kompletně do plynné fáze. Pro tyto účely byl vybrán vypařovací systém CEM značky Bronkhorst High-Tech B.V., složený z regulátoru průtoku pro plyn, regulátoru průtoku pro kapalinu, vypařovací jednotky a řídícího modulu pro jejich ovládání. Cílem práce je implementovat uvedený vypařovací systém do plazma chemického reaktoru, provést jeho kalibraci a testovací měření.
|
|
| |
|
| |
host ::
RSS.