|
|
Depozice CaF2 ultratenkých vrstev na grafenový substrát
Caesar, Radek ; Nebojsa, Alois (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se věnuje přípravě a analýze ultratenkých vrstev CaF2 (fluoridu vápenatého). CaF2 byl deponován napařováním v podmínkách UHV za teploty substrátu v rozsahu 20 °C až 400 °C. Depozice probíhala na Si(111) substrát s nativní vrstvou SiO2 a na substrát doplněný o CVD grafenovou vrstvu. Připravené ultratenké vrstvy byly analyzovány pomocí metod XPS, AFM a SEM. V rámci této práce byly rovněž navrhnuty čtyři různé nosiče vzorku pro účely depozice.
|
|
|
Návrh držáku vzorků s elektrickými kontakty pro UHV SEM/SPM
Krutil, Vojtěch ; Vlček, Ivan (oponent) ; Urban, Pavel (vedoucí práce)
Práce se zabývá návrhem držáku vzorku s elektrickými kontakty pro UHV SEM/SMP mikroskop, který bude pracovat za nízkých teplot (20 K – 300 K). Nově navržený držák vzorku je vybaven deseti odpruženými kontakty pro elektrické spojení transportní paletky se vzorkem, která bude osazena teplotním snímačem a topným elementem. Dvě čtveřice kontaktů jsou vyhrazeny pro vzorek a teplotní snímač, zbývající dvojice pro topný element. Z provedené rešeršní studie komerčně dostupných držáků vzorků vyplývá, že držáky pro uvažované použití nejsou na trhu dostupné. Při nízkoteplotních testech nově navrženého držáku vzorků ve zkušební vakuové komoře s průtokovým systémem chlazení, byla dosažena mezní teplota držáku 24 K při teplotě okolí 300 K. Funkce kontaktů byla úspěšně ověřena měřením přechodového elektrického odporu na spoji pevné a odpružené části kontaktů. Dále byl proveden návrh úprav držáku vzorků pro použití za vysokých teplot (300 K – 700 K).
|
|
| |
|
|
Studium povrchové kontaminace optických dílů pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS
Sekula, Filip ; Kolíbal, Miroslav (oponent) ; Průša, Stanislav (vedoucí práce)
Tato práce se věnuje studiu povrchové kontaminace optických dílů metodou rozptylu nízkoenergiových iontů LEIS. Výskyt povrchových nečistot na optických komponentách má negativní dopad na tenké vrstvy na ně nanášené. Ke kontaminaci může docházet mezi jednotlivými kroky výroby. Určením složení těchto nečistot by bylo možné jim předcházet a zvýšit tak efektivitu vrstvících procesů. Měření je prováděno na pravoúhlých optických hranolech za pokojové teploty. Zabýváme se také konstrukcí držáku vzorků s možností jejich vyhřívání v preparační komoře. Dále se věnujeme referenčním měřením k následné kvantifikaci povrchových nečistot.
|
|
|
Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM
Axman, Tomáš ; Pavera, Michal (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá konstrukcí a následným testováním nosiče vzorků umožňující ohřev, chlazení a měření teploty vzorku a zásobníku vzorků pro vysokovakuovou aparaturu skenovacího elektronového mikroskopu, který je vyvíjen ve spolupráci s firmou Tescan. Teoretická část se zabývá rešeršní studií v současnosti používaných nosičů vzorků pro UHV a zhodnocení jejich pozitiv a negativ. Pojednáno je také o vhodnosti použití některých materiálů. Experimentální část popisuje samotnou konstrukci receptoru paletek s ohledem na nutný počet elektrických kontaktů pro měření elektrických vlastností vzorků a kompatibilitu s UHV. Následuje samotné měření a testování vyrobeného funkčního vzorku receptoru paletek jak při nízkých tak při vysokých teplotách.
|
|
|
Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot
Axman, Tomáš ; Zigo,, Juraj (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se zabývá popisem současného stavu vyvíjeného zařízení a rešerší konkurenčních systémů. Další část popisuje optimalizaci nosiče vzorku a receptoru paletek pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot. Součástí optimalizace je i vývoj safírové tepelné diody a experimentální ověření funkčnosti navržených součástí. Následuje ověření funkčnosti celého zakládacího systému transportu vzorků do oblasti s UHV, depozice pomocí efuzní cely a pozorování in situ.
|
|
|
Design of non-resonant sample holders
Lagiň, Adam ; Koutný, Daniel (oponent) ; Sojka, Antonín (vedoucí práce)
Paramagnetic compounds and nano-electronic devices can find use in the development of quantum computing, high capacity data storages, irradiation detectors, and other devices. High-field electron paramagnetic (HF-EPR) spectroscopy is a scientific discipline for researching, structural, and magnetic properties of these materials. The theme of this thesis is the design of non-resonant sample holders for HF-EPR spectrometer proposed for various types of samples, especially for powders pressed into pellets and nano-electronic devices placed on a chip. The result of this work is three calibrated prototypes of holders, which functionality is proved by measurements.
|
|
| |
|
|
Depozice CaF2 ultratenkých vrstev na grafenový substrát
Caesar, Radek ; Nebojsa, Alois (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se věnuje přípravě a analýze ultratenkých vrstev CaF2 (fluoridu vápenatého). CaF2 byl deponován napařováním v podmínkách UHV za teploty substrátu v rozsahu 20 °C až 400 °C. Depozice probíhala na Si(111) substrát s nativní vrstvou SiO2 a na substrát doplněný o CVD grafenovou vrstvu. Připravené ultratenké vrstvy byly analyzovány pomocí metod XPS, AFM a SEM. V rámci této práce byly rovněž navrhnuty čtyři různé nosiče vzorku pro účely depozice.
|
|
|
Design of non-resonant sample holders
Lagiň, Adam ; Koutný, Daniel (oponent) ; Sojka, Antonín (vedoucí práce)
Paramagnetic compounds and nano-electronic devices can find use in the development of quantum computing, high capacity data storages, irradiation detectors, and other devices. High-field electron paramagnetic (HF-EPR) spectroscopy is a scientific discipline for researching, structural, and magnetic properties of these materials. The theme of this thesis is the design of non-resonant sample holders for HF-EPR spectrometer proposed for various types of samples, especially for powders pressed into pellets and nano-electronic devices placed on a chip. The result of this work is three calibrated prototypes of holders, which functionality is proved by measurements.
|
host ::
RSS.