|
|
Imaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Properties
Běhounek, Tomáš ; Spousta, Jiří (oponent) ; Zicha,, Josef (oponent) ; Kotačka, Libor (oponent) ; Druckmüller, Miloslav (vedoucí práce)
An innovative method of evaluating thin film optical properties, the so called {\it Imaging Reflectometry} based on principles of spectroscopic reflectometry is presented in this thesis.\ Reflectance spectra of the film is extracted from intensity maps recorded by CCD camera, that correspond to chosen wavelengths, either over selected area or at one point.\ A theoretical model of reflectance is fitted to experimental data (the extracted reflectance spectra) by applying Levenberg~-~Marquardt algorithm in order to determine optical properties, their accuracy and reliability factor used to quantify a convergence successfulness of the reflectance model and hence the quality of the acquired results at given settings in a sense of a sensitivity analysis.
|
|
|
Modernizace aparatury IBAD
Urbánek, Ivan ; Nebojsa, Alois (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Tato diplomová práce je rozdělena do tří hlavních částí věnujících se naprašování tenkých vrstev za pomoci iontového svazku. V první části je uveden popis aparatury IBAD na ÚFI FSI VUT Brno a principy depozičního procesu. Je zde také popsáno podrobné ovládání IBAD aparatury při depozici. Další část se věnuje měření depozičních rychlostí při iontovém naprašování za účelem zpřesnění depozic tenkých vrstev. Poslední část se zabývá plánovanými a již dokončenými konstrukčními úpravami, které mají za cíl zlepšit kvalitu a rychlost depozice tenkých vrstev. Změny zahrnují možnost zaclonění substrátu, výměnu vstupní příruby, návrh nové zakládací komory s multifunkčním držákem substrátů a umožnění ovládání aparatury přes počítač.
|
|
|
Měření vlastností tenkých vrstev metodami zobrazovací reflektometrie a Kerrova jevu
Plšek, Radek ; Navrátil, Karel (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Tato diplomová práce je rozdělena do tří hlavních částí, které se zabývají optickými a magnetickými vlastnostmi tenkých vrstev a způsoby jejich měření. Princip spektroskopické reflektometrie a měření optických vlastností tenkých vrstev tvoří náplň první části. Stěžejní jsou pak výsledky zobrazovací reflektometrie, kterou sledujeme in situ změnu optických vlastností tenké vrstvy SiO2 v průběhu jejího leptání na ploše cca 10 × 13 mm2. Druhá část je věnována magnetickým vlastnostem tenkých vrstev a popisu úprav měřicího zařízení na ÚFI FSI VUT v Brně. Magnetické vlastnosti jsou sledovány pomocí longitudinálního magnetooptického Kerrova jevu, kdy při odrazu polarizovaného světla na magnetickém materiálu dojde ke stočení roviny jeho polarizace. Měřicí sestava byla rozšířena o mikroskopový objektiv, abychom docílili fokusace laserového svazku do co nejmenší stopy. Tím dostáváme informaci o lokálních magnetických vlastnostech tenké vrstvy a jsme schopni tyto vlastnosti měřit i u magnetických mikrostruktur. Závěrečná část byla vypracována v rámci studijní stáže Erasmus. Zabývá se optimalizací trojvrstvy spinového ventilu Co/Cu/NiFe. Cílem bylo dosáhnout co nejvyšší změny elektrického odporu v závislosti na vzájemné orientaci vektorů magnetizace. Tento jev je nazýván Giant Magnetoresistance (GMR) a lze jej pozorovat u magnetických multivrstev.
|
|
|
SNOM sondy se speciálními vlastnostmi
Slabý, Vít ; Kalousek, Radek (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá skenovací mikroskopií v blízkém poli (SNOM). Pomocí SNOM je experimentálně měřeno blízké pole interference povrchových plazmonových polaritonů (PPP) na strukturách tvořených drážkami na kovové vrstvě a je diskutován vliv charakteristik měřicí sondy na výsledky měření. Vliv některých charakteristik je numericky simulován. Poznatky získané v předchozí práci jsou využity pro konstrukční návrh experimentální aparatury nazvané NanoGIS, která má sloužit pro přípravu nanostruktur.
|
|
| |
|
| |
|
|
Konstrukce zařízení pro měření magnetických vlastností mikro a nanostruktur
Flajšman, Lukáš ; Dubroka, Adam (oponent) ; Spousta, Jiří (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce pojednává o magneto-optických jevech s důrazem na Kerrův magneto-optický jev. Je předložen popis, který umožňuje kvantifikovat měřené veličiny na základě měření intenzity odraženého světla od vzorku. Dále je na jednoduchém fyzikálním modelu ukázán vznik anizotropie, kterou do původně izotropního vzorku zanese vnější magnetické pole. V technické části práce je rozebrána konstrukce zařízení, které umožňuje měřit magneto-optický Kerrův jev v longitudinální konfiguraci u struktur, jejichž rozměry jsou v řádu mikro/nano metrů. V závěrečné kapitole práce jsou předloženy výsledky měření tenkých vrstev Co a magnetických vortexů na Si substrátu, jejichž laterální rozměr je 1 m.
|
|
|
Preparation and analysis of nanostructures in UHV conditions
Gloss, Jonáš ; Spousta, Jiří (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
The purpose of this thesis was to study the preparation and analysis of nanostructures in Ultra High Vacuum (UHV) conditions. The theory section has a strong emphasis on Gallium Nitride (GaN) nanostructures. These were then analyzed by Scanning Tunneling Microscope (STM). In order to be able to analyze prepared samples in UHV STM, electrochemical etching of tungsten wire was carried out. This thesis gives an account on how to obtain tungsten tips for STM. The section dealing with tungsten tip fabrication includes description of electrochemical etching principle. Scanning Electron Microscope (SEM) images of etched tips and their further sharpening by Focused Ion Beam (FIB) was carried out. In this work a method for in-situ UHV STM tip revitalization by electron annealing is proposed. It was concluded that it is possible to routinely obtain tungsten tips with apex radius in the order of nanometers.
|
|
| |
|
|
Příprava hrotů pro rastrovací tunelový mikroskop STM - statická a dynamická leptací metoda
Jonner, Jakub ; Spousta, Jiří (oponent) ; Kostelník, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zábývá konvenční statickou a dynamickou metodou elektrochemického leptání hrotů pro rastrovací tunelový mikroskop STM. Popisuje základní principy těchto dvou leptacích metod a konstrukční řešení zařízení pro leptání hrotů. V rámci této práce bylo provedeno rozsáhlé měření s cílem určit vliv leptacích parametrů na průběh a výsledek leptání. U konvenční statické metody byl testován vliv různé koncentrace roztoku KOH, hloubky ponoření konce wolframového drátu do leptacího roztoku a změny napětí. U dynamické metody byl testován vliv různé koncentrace roztoku KOH, velikosti průtoku a změny napětí. V závěru této práce jsou uvedeny ideální nastavení těchto parametrů a porovnány výsledky leptání pomocí statické a dynamické metody.
|
host ::
RSS.