|
|
A sampler of diffraction and refraction optically variable image elements
Horáček, Miroslav ; Krátký, Stanislav ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Pirunčík, J. ; Aubrecht, I. ; Kotrlý, M. ; Kolařík, Vladimír
Diffraction and refraction optically variable image elements are basic building blocks of planar structures for advanced security of documents and valuables. A sampler formed by an array of 36 diffraction structures binary, tertiary, quaternary and blazed gratings (period range 400 nm 20,000 nm) represents a cross-section throughout technological steps mastering, galvanic replication and embossing. Electron-beam writing technology with Gaussian beam and electron energy of 100 keV, with very small forward scattering of high energy electrons and with the possibilities to create a linear grating with the minimal period of 100 nm, was used to create the master. An important advantage of high-resolution electron-beam lithography is its substantial flexibility in combining possible planar structures with significantly different parameters, such as very dense and relatively shallow structures together with deep structures (approx. 10 microns) with precise shapes (micro-lenses or Fresnel structures). For protection of documents and valuables, interesting results are induced with planar optical structures consisting of non-periodic arrangements, which are characterized by high robustness to counterfeiting and imitation. While the origination process is available for grating period down to 100 nm, the mass replication technology appears to be a bottleneck of the entire technological process. Measurement of topology and profiles of the structures by atomic forces microscope and documenting the quality of technological process of the three steps of replication of planar optically variable elements was performed for all 36 structure types of sampler.
|
|
| |
|
|
SMV-2021-07: Reliéfní mikrostruktury na principu difraktivní optiky
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou. Výzkum zahrnuje analýzu grafického resp. optického motivu, výzkum a aplikaci reliéfních struktur realizujících požadované grafické resp. optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální realizace reliéfních struktur, vypracování a analýzu technologie realizace reliéfní struktury s ohledem na limity současných vědeckých přístrojů, ověření teoretických úvah expozicí vzorku reliéfní struktury.
|
|
|
SMV-2021-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou. Výzkum zahrnuje analýzu grafického resp. optického motivu, výzkum a aplikaci reliéfních struktur realizujících požadované grafické resp. optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální realizace reliéfních struktur, vypracování a analýzu technologie realizace reliéfní struktury s ohledem na limity současných vědeckých přístrojů, ověření teoretických úvah expozicí vzorku reliéfní struktury.
|
|
| |
|
|
SMV-2021-03: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Chlumská, Jana ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav
Výzkum, vývoj a realizace rozměrově přesných vzorků s reliéfními strukturami. Vzorky jsou určeny pro kalibraci parametrů rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Motivy struktur umožňují kontrolu a kalibraci zvětšení, pravoúhlosti a geometrického zkreslení. Byly vyvinuty přípravky pro technologické operace depozice a rezistu a pro operace leptání. Optimalizace bylo dosaženo i v oblasti transferu reliéfní struktury do křemíkové podložky při anizotropním leptání, díky modifikacím leptací aparatury. Pro kontrolu a vyhodnocení jakosti čipů mezi jednotlivými technologickými operacemi byly vyvinuty standardizované postupy.
|
|
|
Patterning of conductive nano-layers on garnet
Chlumská, Jana ; Lalinský, Ondřej ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Kolařík, Vladimír
Synthetic crystalline materials of the garnet group are used as scintillators in scanning electron microscopy. If a thick conductive layer is applied on the garnet surface, slower electrons don't have enough energy to pass through this relatively thick conductive layer on the scintillator surface. Therefore, either thinner conductive layer or appropriate patterning of the thicker layer has to be used. Within this contribution we study the patterning process of such conductive nano-layer. Resolution of the patterning process is of high interest. Two approaches are compared: direct writing electron beam lithography and mask projection UV lithography.
|
|
| |
|
| |
|
|
SMV-2020-20: Reliéfní mikrostruktury na principu difraktivní optiky
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou. Výzkum zahrnuje analýzu grafického resp. optického motivu, výzkum a aplikaci reliéfních struktur realizujících požadované grafické resp. optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální realizace reliéfních struktur, vypracování a analýzu technologie realizace reliéfní struktury s ohledem na limity současných vědeckých přístrojů, ověření teoretických úvah expozicí vzorku reliéfní struktury.
|
host ::
RSS.