|
|
Spektroskopie povrchového výboje při rozkladu VOC katalyzovaném TiO2
Veverková, Radka ; Slavíček, Pavel (oponent) ; Kozáková, Zdenka (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá studiem rozkladu těkavých organických látek v povrchovém výboji katalyzovaném TiO2. Těkavé organické látky jsou nebezpečné jak pro lidský organismus tak i životní prostředí. Proto je nutné těkavé organické látky eliminovat a plazmové techniky jsou jedna z možností. Experiment byl prováděn v plazmovém reaktoru na elektrodách pro povrchový výboj. Na jedné z elektrod byla nanesena jedna nebo dvě vrstvy katalyzátoru TiO2. Jako nosný plyn byl použit dusík, který se před vstupem do reaktoru míchal se vzduchem. Záření emitované výbojem při rozkladu VOC bylo pomocí optického vlákna přenášeno do optického emisního spektrometru Jobin Yvon TRIAX 550. Jako modelové látky byly použity toluen, hexan, cyklohexan a xylen. Během experimentu byl sledován vliv výkonu na katalyzovaný, respektive nekatalyzovaný rozklad VOC výbojem. Pomocí optické emisní spektrometrie je možné stanovit některé důležité parametry výboje, např. rotační a vibrační teplota. Tyto hodnoty byly pro jednotlivá měření stanoveny rozsahu od 650 do 1050 K pro rotační teplotu a od 1600 do 1950 K pro vibrační teplotu. Průměrná chyba stanovení byla 100 K pro rotační teplotu a 120 K pro vibrační teplotu. Bylo zjištěno, že katalyzátor nemá na rotační a vibrační teplotu vliv. Naopak změna výkonu výboje výrazně ovlivňuje jak rotační, tak i vibrační teplotu. Při nižším výkonu byly spočteny výrazně odlišné hodnoty vibrační teploty u jednotlivých sloučenin, zatímco při vyšším výkonu byly tyto hodnoty podobné. Dále byly z emisních spekter identifikovány spektrální pásy dusíku, kyslíku a NO. Zjištěné výsledky lze použít jako základ pro další, rozšířené studium rozkladu těkavých organických látek v povrchovém výboji.
|
|
|
Plazmochemická depozice tenkých fluorocarbonových vrstev
Veverková, Radka ; Přikryl, Radek (oponent) ; Krčma, František (vedoucí práce)
Depozice tenkých vrstev je jednou z nejrozšířenějších aplikací pro změnu povrchových vlastností nejrůznějších materiálů. Tato diplomová práce se zabývá diagnostikou tenkých vrstev, které vznikly technikou PECVD. Pro depozici tenkých vrstev bylo využito kapacitně vázaného RF plazmatu za sníženého tlaku. Jako prekurzor byl použit tetrafluormetan (CF4) s příměsí vodíku (H2). Cílem práce bylo nalézt optimální podmínky pro vytvoření hydrofobní tenké vrstvy na povrchu polymeru NOA. Depozice byly prováděny v kontinuálním i pulzním režimu výboje s různou střídou. Depoziční proces byl monitorován pomocí optické emisní spektroskopie a in situ hmotnostní spektrometrie. Vytvořené tenké vrstvy byly charakterizovány pomocí měření kontaktního úhlu, rentgenové fotoelektronové spektroskopie, infračervené spektroskopie a optické elipsometrie. Byly sledovány vlivy použitého režimu výboje a výkonu a složení směsí reakčních plynů. Kontaktní úhel byl nejvyšší pro depozice v kontinuálním režimu. Pomocí hmotnostní spektrometrie a optické emisní spektrokopie byly sledovány rozkladné procesy uvnitř reaktoru. Rentgenová fotoelektronová spektroskopie poskytla údaje o chemických vazbách zastoupených na povrchu vzorku. Byly to především skupiny C – C/C – H, C – O, O = C – O pro vzorek bez vrstvy. Po depozici se objevily také další vazby a to C – CF, CF2, CF3. Elipsometricky byla zjištěna tloušťka tenké vrstvy okolo 8,2 nm. Zjištěné výsledky lze použít jako základ pro další, rozšířené studium problematiky plazmochemicky připravených tenkých fluorokarbonových vrstev a jejich vlastností.
|
|
|
Plazmochemická depozice tenkých fluorocarbonových vrstev
Veverková, Radka ; Přikryl, Radek (oponent) ; Krčma, František (vedoucí práce)
Depozice tenkých vrstev je jednou z nejrozšířenějších aplikací pro změnu povrchových vlastností nejrůznějších materiálů. Tato diplomová práce se zabývá diagnostikou tenkých vrstev, které vznikly technikou PECVD. Pro depozici tenkých vrstev bylo využito kapacitně vázaného RF plazmatu za sníženého tlaku. Jako prekurzor byl použit tetrafluormetan (CF4) s příměsí vodíku (H2). Cílem práce bylo nalézt optimální podmínky pro vytvoření hydrofobní tenké vrstvy na povrchu polymeru NOA. Depozice byly prováděny v kontinuálním i pulzním režimu výboje s různou střídou. Depoziční proces byl monitorován pomocí optické emisní spektroskopie a in situ hmotnostní spektrometrie. Vytvořené tenké vrstvy byly charakterizovány pomocí měření kontaktního úhlu, rentgenové fotoelektronové spektroskopie, infračervené spektroskopie a optické elipsometrie. Byly sledovány vlivy použitého režimu výboje a výkonu a složení směsí reakčních plynů. Kontaktní úhel byl nejvyšší pro depozice v kontinuálním režimu. Pomocí hmotnostní spektrometrie a optické emisní spektrokopie byly sledovány rozkladné procesy uvnitř reaktoru. Rentgenová fotoelektronová spektroskopie poskytla údaje o chemických vazbách zastoupených na povrchu vzorku. Byly to především skupiny C – C/C – H, C – O, O = C – O pro vzorek bez vrstvy. Po depozici se objevily také další vazby a to C – CF, CF2, CF3. Elipsometricky byla zjištěna tloušťka tenké vrstvy okolo 8,2 nm. Zjištěné výsledky lze použít jako základ pro další, rozšířené studium problematiky plazmochemicky připravených tenkých fluorokarbonových vrstev a jejich vlastností.
|
|
|
Spektroskopie povrchového výboje při rozkladu VOC katalyzovaném TiO2
Veverková, Radka ; Slavíček, Pavel (oponent) ; Kozáková, Zdenka (vedoucí práce)
Bakalářská práce se zabývá studiem rozkladu těkavých organických látek v povrchovém výboji katalyzovaném TiO2. Těkavé organické látky jsou nebezpečné jak pro lidský organismus tak i životní prostředí. Proto je nutné těkavé organické látky eliminovat a plazmové techniky jsou jedna z možností. Experiment byl prováděn v plazmovém reaktoru na elektrodách pro povrchový výboj. Na jedné z elektrod byla nanesena jedna nebo dvě vrstvy katalyzátoru TiO2. Jako nosný plyn byl použit dusík, který se před vstupem do reaktoru míchal se vzduchem. Záření emitované výbojem při rozkladu VOC bylo pomocí optického vlákna přenášeno do optického emisního spektrometru Jobin Yvon TRIAX 550. Jako modelové látky byly použity toluen, hexan, cyklohexan a xylen. Během experimentu byl sledován vliv výkonu na katalyzovaný, respektive nekatalyzovaný rozklad VOC výbojem. Pomocí optické emisní spektrometrie je možné stanovit některé důležité parametry výboje, např. rotační a vibrační teplota. Tyto hodnoty byly pro jednotlivá měření stanoveny rozsahu od 650 do 1050 K pro rotační teplotu a od 1600 do 1950 K pro vibrační teplotu. Průměrná chyba stanovení byla 100 K pro rotační teplotu a 120 K pro vibrační teplotu. Bylo zjištěno, že katalyzátor nemá na rotační a vibrační teplotu vliv. Naopak změna výkonu výboje výrazně ovlivňuje jak rotační, tak i vibrační teplotu. Při nižším výkonu byly spočteny výrazně odlišné hodnoty vibrační teploty u jednotlivých sloučenin, zatímco při vyšším výkonu byly tyto hodnoty podobné. Dále byly z emisních spekter identifikovány spektrální pásy dusíku, kyslíku a NO. Zjištěné výsledky lze použít jako základ pro další, rozšířené studium rozkladu těkavých organických látek v povrchovém výboji.
|
host ::
RSS.