|
Preparation of ppHMDSO Thin Films in Capacitively Coupled RF Glow Discharges under Dusty Plasma Conditions
Homola, V. ; Buršíková, V. ; Kelar, L. ; Kelarová, Š. ; Stupavska, M. ; Peřina, Vratislav
The deposition of organosilicone thin films from mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen by using capacitively coupled R.F. glow discharges under dusty plasma conditions was investigated. High resolution topography and mechanical property maps of the prepared films were acquired by using atomic force microscopy techniques. The chemical bond and composition of the deposited films were analyzed by Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The mechanical properties of the films were studied using quasistatic as well as dynamic nanoindentation tests and their surface free energies were evaluated by means of contact angle measuring technique using several testing liquids exhibiting various surface tensions. The thermal stability of the films was studied using thermal desorption spectroscopy. Neural network modelling was used to study the effect of plasma parameters on the hardness of ppHMDSO films
|
| |
|
Deposition and Characerization of Protective DLC Coatings on Viscoelastic Substrates
Buršíková, V. ; Bochníček, Z. ; Franta, D. ; Sťahel, P. ; Kelar, L. ; Buršík, Jiří ; Klapetek, P. ; Bláhová, O. ; Peřina, Vratislav ; Zemek, J. ; Zajíčková, L.
Deposition and characerization of protective DLC Coatings on viscoelastic substrates.
|
|
Studium mechanických vlastností gradovaných amorfních DLC povlaků deponovaných PECVD
Buršíková, V. ; Stoica, A. ; Sobota, Jaroslav ; Grossman, Jan ; Fořt, Tomáš ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří ; Peřina, Vratislav ; Bláhová, O.
K optimalizaci vlastností vrstev je třeba optimalizovat elastický modul, tvrdost, povrchovou pevnost, lomovou houževnatost vrstvy a její adhezi k podložce. Bylo navrženo chránit povrch podložky gradovanou vrstvou jež monotónně mění elastický modul a Poissonův poměr.
|
| |
| |
|
Amorfní tenké vrstvy Ag-Sb-S připravené radiofrekvenčním magnetronovým naprašováním
Gutwirth, J. ; Wágner, T. ; Drašar, Č. ; Beneš, L. ; Vlček, M. ; Hrdlička, M. ; Frumar, M. ; Schwarz, J. ; Tichá, H. ; Peřina, Vratislav
RF magnetronovým naprašováním byly připraveny Ag-Sb-S tenké vrstvy jako potenciální materiál pro optický záznam dat.Složení a homogenita byla zkoumána metodami SEM-EDX, RBS, ERDA, XRD. Optické vlastnosti pomocí UV-vid. spektroskopie a elipsometrie pod proměnlivými úhly. Možnosti krystalizace byly sledovány z teplotní závislosti.
|
| |
| |
| |