|
|
Vývoj přesného barometrického senzoru
Bebej, Rastislav ; Králík, Jan (oponent) ; Řeřucha,, Šimon (vedoucí práce)
Táto práca sa zaoberá vývojom a detailnou charakterizáciou elektronického modulu pre meranie absolútneho tlaku vzduchu. Zariadenie má slúžiť pri interferometrii v dĺžkovej metrológii, kde je potrebné určovať hodnotu atmosférického tlaku s vysokou presnosťou. Súčasťou práce je rešeršná časť zameraná na výber vhodných tlakových snímačov pre tento účel a výber podporných súčiastok. Práca sa taktiež zaoberá návrhom obvodového riešenia a dosky plošných spojov. Komunikácia modulu so sieťou zariadení prebieha po zbernici CAN, s využitím protokolu CANopen. Zariadenie bolo podrobené dôkladnému testovaniu s referenčným barometrom a v kontrolovanom prostredí teplotnej komory. Cieľom týchto meraní bolo stanovenie šumových charakteristík a posúdenie navrhnutej filtrácie s využitím IIR filtra. Na základe kalibrácie s certifikovaným barometrom je zariadenie doplnené o kompenzáciu offsetu, kompenzáciu vplyvu teploty a kompenzáciu lineárne závislej odchýlky tlaku.
|
|
|
Charakterizace a eliminace termomechanických vlivů v interferometrickém měření délky
Řeřucha, Šimon ; Holá, Miroslava ; Lazar, Josef ; Mikel, Břetislav ; Číp, Ondřej
Neustálé úsilí o rozvoj měření rozměrů v nano- i makroměřítku stále přináší výzvy v oblasti rozšíření velmi přesných měřicích postupů z dobře kontrolovaného experimentálního prostředí s typicky jednorázovým měřicím cyklem na výrobní prostředí s konstantním zatížením. V oblasti laserové interferometrie, která jest jak základním kamenem metrologie délky obecně tak nezbytnou součástí nanometrologie, jsme se zaměřili na dlouhodobou stabilitu měření (tzv. zero-drift) v měřicích scénářích a aplikacích založených na (převážně laserové) interferometrii. Dobře charakterizovaný a kompenzovaný zero-drift měřicí v takové aplikaci nabývá na významu jednak s použitím v prostředí s méně kontrolovaným prostředím a jednak s rostoucím časovým rámcem měření, jako například dlouhá skenování v mikroskopické nanometrologii, dlouhé expozice v elektronové litografii nebo kalibrace s interferometrickou referencí s větším počtem kalibračních bodů nebo opakování. Cílem současného výzkumného úsilí je komplexní zkoumání chybových vlivků a příspěvků k nejistotě měření v souvislosti se zero-driftem v aplikacích založených na laserové interferometrii se zvláštním zaměřením na teplotní vlivy (protože ty se obvykle jeví jako dominantní příspěvek) a přístupy k jejich potlačení. Toto úsilí zahrnuje několik vzájemně se doplňujících se směrů.
|
|
|
Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích
Lazar, Josef ; Hrabina, Jan ; Holá, Miroslava ; Vychodil, M.
Příspěvek popisuje výsledky společného projektu ÚPT a firmy Meopta – optika zaměřeného na vývoj interferometrických systémů pro měření v nanotechnologiích. Na ÚPT AV ČR jde o navázání na výsledky výzkumu na poli interferometrického měření vzdáleností a laserů s vysokou koherencí, stabilizace optické frekvence laserů a laserové metrologie. Jde o výzkumné práce zaměřené na průmyslovou interferometrii a v součinnosti s firmou Meopta - optika, s.r.o. o předání potřebného know-how pro přípravu výroby. Náplň projektu je zaměřená na výzkum technologie výroby, metodiky interferometrického měření, stabilizace frekvence laserových zdrojů záření, detekčních systémů interferenčního signálu, zpracování signálů, vše s důrazem na přesnost a rozlišení primárně pro měření v nanosvětě. Cílem společného úsilí je komplexní interferometrický měřicí systém v podobě funkčního vzoru, který bude sloužit jako východisko pro výrobu. Půjde o modulární rodinu komponentů konfigurovatelných pro různé sestavy využití především pro víceosé měření v nanotechnologiích a testování povrchů.
|
host ::
RSS.