Original title:
Vliv pracovních podmínek v nízkovakuovém rastrovacím elektronovém mikroskopu na výsledky rentgenové analýzy
Translated title:
Influence of working conditions on the results of X-ray analysis in the low vacuum scanning electron microscope
Authors:
Hudzik, Martin ; Zimáková, Jana (referee) ; Čudek, Pavel (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2014
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Bakalárska práca sa zaoberá detekciou charakteristického röntgenového žiarenia a energiovo disperznou spektroskopiou v prostredí nízkovákuového rastrovacieho elektrónového mikroskopu. Opisuje detekciu röntgenového žiarenia pomocou silicon drifted detektoru, a tiež princíp kvalitatívnej a kvantitatívnej röntgenovej analýzy. Cieľom tejto práce je predviesť energiovo disperznú spektroskopiu známych prvkov za optimálnych podmienok a sledovať zmeny parametrov a výsledkov spektroskopie počas zmeny pracovných podmienok v nízkovákuovom rastrovacom elektrónovom mikroskope Vega3 XMU s Xflash 6|10 spektroskopom.
Bachelor’s thesis deals with detection of characteristic X-Ray and energy dispersive spectroscopy in the environment of low vacuum scanning electron microscope. Describes the detection of X-Ray by silicon drifted detector and also describes the principles of qualitative and quantitative X-Ray analysis. The objective of this thesis is to perform energy dispersive spectroscopy of known elements under the optimal conditions and to monitor changes of parameters and results of the spectroscopy during the change of working conditions in low vacuum scanning electron microscope Vega3 XMU with Xflash 6|10 spectroscope.
Keywords:
characteristic X-Ray; element analysis; energy dispersive spectroscopy; low vacuum scanning electron microscope; scanning electron microscope; silicon drifted detector; charakteristické röntgenové žiarenie; energiovo disperzná spektroskopia; nízkovákuový rastrovací elektrónový mikroskop; prvková analýza; rastrovací elektrónový mikroskop; silicon drifted detektor
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/34139