Original title: Ionizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Translated title: Ionization detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscope
Authors: Dušek, Petr ; Zimáková, Jana (referee) ; Čudek, Pavel (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2013
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. V práci je vysvětlen rozdíl mezi rastrovacím elektronovým mikroskopem a environmentálním rastrovacím elektronovým mikroskopem. Dále je popsána emise a detekce vybraných signálů vznikajících při interakci primárních elektronů se vzorkem v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Důraz je kladen na popis, rozdělení a způsob detekce sekundárních elektronů. V práci je popsán princip funkce ionizačních a scintilačních detektorů. V experimentální části práce je uveden návrh konstrukce tří různých elektrodových systémů deskového ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Na základě měření s navrženými detektory je vybrán detektor s nejvyšší kvalitou detekce signálu. This thesis deals with problematics of a detection of secondary electrons by ionization detector for environmental scanning electron microscope. In this thesis is described the difference between scanning electron microscope and environmental scanning electron microscope. Further there is described emission and detection of the choosen signals that arise while primary electrons are interacting with a specimen in scanning electron microscope. A special emphasis is placed on a description, sorting and on the form of detection of secondary electrons. In thesis there is described principle of a function of ionization a scintilation detectors. Experimental part of thesis describes design of 3 different elctrode systems of a tabular ionization detector, which will be intended to be placed in environmental scanning electron microscope. Based on measuring with the detectors, with experimental design, there is chosen one with the highest quality of signal detection.
Keywords: back scattered electrons; environmental scanning electron microscope; gas ionization; Ionization detector; primary electrons; scanning electron microscope; secondary electrons; environmentální rastrovací elektronový mikroskop; ionizace plynů; Ionizační detektor; primární elektrony; rastrovací elektronový mikroskop; sekundární elektrony; zpětně odražené elektrony

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/27405

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-609832


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses