Original title:
Analýza komory diferenciálního čerpání EREM pomocí systému Cosmos FloWorks
Translated title:
Using Cosmos FloWorks for analysis of the ESEM differential chamber
Authors:
Jašek, Michal ; Špinka, Jiří (referee) ; Maxa, Jiří (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2009
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
V práci bude nejprve popsána stručná problematika elektronové mikroskopie a následně v systému SolidWorks vymodelovány vybrané tři tvary komory diferenciálního čerpání, na kterých bude pomocí systému Cosmos FloWorks provedena analýza čerpání plynu pro vytvoření vakua. Výsledky analýzy budou podrobeny zhodnocení vzhledem k požadavku, aby v dráze primárního svazku elektronů byl co nejnižší tlak z důvodu zabránění jeho rozptylu.
The paper outlines fundamental issues of electron microscopy and models three selected shapes of the differential chamber using the SolidWorks system. The models are then analysed using Cosmos FloWorks with regard to vacuum pumping. The aim is to find a model with minimum pressure in the electron beam trajectory and hence the least dissipation.
Keywords:
CAD; CAE; EREM.; CAD; CAE; EREM.
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/6523