Original title:
Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním
Translated title:
Properties of metal layers realized with vapour deposition
Authors:
Milichovský, Miloš ; Švecová, Olga (referee) ; Šandera, Josef (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2011
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Práce se zabývá vakuovým napařováním kovů, a to jak základními principy této technologie, tak i zkoumáním vlastností výsledné vrstvy. Je zde popsána funkce napařovacího zařízení a jeho jednotlivé části. Stěžejní část práce se zabývá napařováním mědi i dalších látek a vodivostí výsledného filmu ve vztahu k jeho tloušťce. Jako parametr při měření je zadána teplota substrátu.
This work deals with vacuum evaporation of metals, basic principles of this technology and exploring the properties of the resulting layer. It describes how vacuum evaporation works and its individual parts.The main part deals with evaporation of copper and other substances and the conductivity of the resulting film in relation to its thickness. As a parameter for measuring substrate temperature is specified.
Keywords:
air-pump.; conductivity; evaporation material; layer; pressure; recipient; temperature; Vacuum evaporation; vaporizer; napařovaný materiál; recipient; teplota; tlak; Vakuové napařování; vodivost; vrstva; výparník; vývěva.
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/1912