Original title: Analýza tvaru sacích kanálů současné koncepce diferenciálně čerpané komory
Translated title: Analysis of the shape of the intake ports of the current concept differentially pumped chamber
Authors: Bílek, Michal ; Vyroubal, Petr (referee) ; Maxa, Jiří (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2015
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce se zabývá analýzou tvaru sacích kanálů diferenciálně čerpané komory u současné koncepce. První část této práce nás uvádí do problematiky mikroskopie, následně se zaměřuje na mikroskopy typu ESEM a zahrnuje také popis dynamiky proudění a popis matematický. V dalších kapitolách je popsaný software SolidWorks, v němž je vytvořen model kanálu diferenciálně čerpané komory a program Ansys Fluent sloužící k analýzám. V Druhé části práce jsou popsány navrhované koncepty a výsledky jejich simulací. Závěrem práce jsou tyto výsledky analyzovány a vyhodnoceny. This master´s thesis discusses the analysis of the shape of the intake ports of differentially pumped chamber for the current concept. The first part is an introduction to the microscopy issue, then it is focused on ESEM microscopes and it also includes a describtion of the Flow dynamics and a mathematical describtion. In the following chapters the software Solid Works, where the model of differentially pumped chamber is created, and the software Ansys Fluent, which is used for analysis, are described. The second part concerns the proposed concepts and the results of their simulations. At the end of the work the results are analyzed and evaluated.
Keywords: ANSYS Fluent; Differentially Pumped chamber; Electron microscopy; Environmental scanning electron mikroskope; SolidWorks; ANSYS Fluent; Diferenciálně čerpaná komora; Elektronová mikroskopie; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; SolidWorks

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/41623

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-605889


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses