Original title: Řízení procesu reaktivního magnetronového naprašování
Translated title: Control of reactive magnetron sputtering
Authors: Dušek, Jan ; Boušek, Jaroslav (referee) ; Ing. Tomáš Fořt, Ph.D., ÚPT AVČR, Brno (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2014
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Bakalářská práce stručně popisuje technologii reaktivního magnetronového naprašování a zabývá se návrhem a realizací programu k jeho ovládání. K tomuto účelu byl vytvořen ovládací program pro řízení jednotlivých komponent aparatury PLS160 v programovacím prostředí LabView. Na základě znalostí technologického procesu a postupu reaktivního magnetronového naprašování byl vytvořen automatický program. Tento automatický program je možné modifikovat pomocí receptů. Vedle programové skladby byly provedeny mechanické a elektrické změny aparatury. Celý automatizovaný proces byl testován. Bachelor's thesis concisely describes technology of reactive magnetron sputtering and deals with the design and realization of controlling program. For this purpose it was created the control program for steering of individual components of apparatus PLS 160 in programming enviroment Labview. On basis of the knowledge of technological process and procedures of reactive magnetron sputtering the automatic program was created. This program can be modified using recipes. Besides program structures mechanical and electrical changes of apparatus were made. The entire automated process was tested.
Keywords: COM ports; converter PR 4000B-F; flow regulators; generator Cesar 136; LabView; module Quido USB 8/8; pulse generator Pinnacle Plus; vacuum gauge Baratron; COM porty; generátor Cesar 136; LabView; modul Quido USB 8/8; pulzní generátor Pinnacle Plus; převodník PR 4000B-F; regulátory průtoku; vakuometr Baratron

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/34167

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-605791


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses