Original title: Testování a optimalizace iontového zdroje
Translated title: Testing and optimization of an ion source
Authors: Glajc, Petr ; Král,, Jaroslav (referee) ; Kolíbal, Miroslav (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2014
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
V diplomové práci je detailně popsán proces testování iontového zdroje se sedlovým polem doplněný nejdůležitějšími výsledky experimentů. Mezi ně lze zařadit měření příčného profilu proudu iontového svazku a energiového spektra iontů pomocí Faradayovy sondy. Pomocí výsledků těchto měření je ukázáno, že optimalizovaný zdroj pracuje správně a dle očekávání. V závěru práce je popsán vývoj iontově-optického a konstrukčního návrhu fokusační optiky a dále je zobrazena vyrobená sestava optiky nainstalovaná na iontovém zdroji. A thorough description of the testing of a saddle-field ion source is presented in the diploma thesis. The most important experimental results, such as Faraday cup measurements of the ion beam current profile and of the ion energy spectra, are included. Based on these results it is shown that the optimized ion source works correctly and according to the expectations. At the end of the thesis, the development of the ion-optical and construction design of the focusing optics is described. The manufactured optics assembly attached to the ion source is also shown.
Keywords: focusing optics; ion source; optimization; saddle field; sputtering; thermionic cathode; fokusační optika; iontový zdroj; odprašování; optimalizace; sedlové pole; žhavená katoda

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/33387

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-598353


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses