Original title: Depozice a analýza AlCrN povlaků
Translated title: Deposition and analysis of AlCrN coatings
Authors: Drásalová, Kateřina ; Juliš, Martin (referee) ; Klakurková, Lenka (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2021
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Bakalářská práce je zaměřena na problematiku depozice a metody studia kvality povrchových povlaků na bázi AlCrN, připravovaných metodami (i) magnetronového naprašování (Magnetron sputtering), (ii) magnetronového naprašování kombinovaného s obloukovým výbojem zesíleným doutnavým výbojem (Magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge) a (iii) vysokovýkonného magnetronového naprašování s pohyblivým magnetickým polem (High power magnetron sputtering with movable magnetic field). Pozornost je věnována zejména charakterizaci vlastností připravených povlaků v závislosti na použité metodě (s různým stupněm ionizace). Pro posouzení kvality povrchových povlaků jsou využity testy adhezních a kohezních parametrů, hodnocení drsnosti pomocí AFM (Atomic force Microscopy), měření tloušťky povlaku pomocí kalotestu, měření vnitřního napětí metodou Bent-strip a instrumentovaná zkouška stanovení tvrdosti. The topic of this thesis is the deposition process and methods of quality assessment of AlCrN surface coatings produced by methods of (i) magnetron sputtering, (ii) magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge, and (iii) high power magnetron sputtering with the movable magnetic field. The main focus is placed on categorizing properties of the produced coatings based on the production method (which vary in the ionization level). Qualities of the surface coatings are assessed by adhesion and cohesion parameters testing of coarseness using AFM (Atomic Force Microscopy), depth measuring using a calotest, measuring internal tension using the Bent Strip Method and Instrumented indentation test for hardness.
Keywords: Adhesion Tests; AFM; AlCrN; Calotest; Cohesion Tests; Internal Voltage According to Bent-strip; Magnetron sputtering; Plastic Hardness; PVD; adhezní testy; AFM; AlCrN; kalotest; kohezní testy; Magnetron sputtering; plastická tvrdost; PVD; vnitřní napětí dle Bent-strip

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/197171

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-591963


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses