Original title: Tvorba motivů tenkovrstvými metodami
Translated title: Creating themes thin-film methods
Authors: Ondráček, Michal ; Šimonová, Lucie (referee) ; Šubarda, Jiří (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2014
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce se zabývá teorií technologie tenkých vrstev, zejména vytvářením těchto vrstev. Dále práce obsahuje rozdělení vakuových depozičních technik na fyzikální (PVD) a chemické (CVD). Hlavním cílem práce je vytvořit motivy různými způsoby realizace pomocí magnetronového naprašovacího zařízení a tyto motivy vyhodnotit z hlediska kvality naprášení. The master’s thesis deals with the theory of thin film technology, especially creating these layers. The work includes the distribution of vacuum deposition techniques for physical (PVD) and chemical (CVD). The main aim is to create a theme in different ways of implementation by using magnetron sputtering device, and these motives evaluated in terms of the quality of sputtering.
Keywords: chemical vapour deposition (CVD); Magnetron Sputtering; physical vapour deposition (PVD); structure; Thin film; thin film technology; chemická depozice vrstev (CVD); fyzikální depozice vrstev (PVD); magnetronové naprašování; struktury; tenkovrstvá technologie; Tenká vrstva

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/32575

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-587931


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses