Original title: Úprava konstrukce zařízení pro měření rozptylu laserového světla z drsných povrchů
Translated title: Modification of construction of the device for measuring laser light scattering from rough surfaces
Authors: Jaworková, Magdalena ; Klapetek, Petr (referee) ; Ohlídal, Miloslav (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2020
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato diplomová práce se zabývá konstrukční úpravou detekční části laboratorního přístroje pro měření topografie drsných povrchů – laserového goniometrického skaterometr (SM II). Konstrukční úprava vychází ze záměny doposud používaného detektoru za kvalitnější a rozměrnější detektor slepšími parametry pro měření. První část diplomové práce obsahuje teoretický základ nezbytný pro pochopení souvislostí skalární teorie difrakce směřením rozptylu monochromatického světla. Poukazuje na důležitost volby vhodných souřadnic detekce, jenž klíčově ovlivňují aberace detekovaného difraktovaného světla. Praktická část se věnuje vylepšení citlivosti detekční části skaterometru SM II používaného vLaboratoři koherenční optiky na ÚFI FSI VUT. Tato část obsahuje odůvodnění výběru daného detektoru, který předurčuje, jak použití optických prvků, tak celkovou konstrukci detekční části SM II . This diploma thesis deals with a design modification of detection part of the laboratory instrument for measuring the topography of rough surfaces – laser goniometric scatterometer (SM II). Design modification is based on replacement of so far used detector instead for the detector of higher quality with better measurement parameters. The first part of the diploma thesis contains theoretical basics, which are necessary to understand the relationship between scalar diffraction theory and scattering measurements of monochromatic light. The emphasis is on the importance of choosing appropriate detection coordinates, which are affecting the aberrations of detected diffracted light. The practical part is dedicated to improving the sensitivity of the detection part of the scatterometer SM II that is used in The laboratory of coherence optics at IFE FME BUT. This part justifies the choice of the detector which predetermines both the use of optical elements and the overall design of the detection part as the goniometer.
Keywords: aberrations of wave field; ARS; BRDF; BSDF; BTDF; Diffraction; Fraunhofer approximation; Fresnel approximation; light scatter; scalar theory; TIS; aberace vlnového pole; ARS; BRDF; BSDF; BTDF; Difrakce; Fraunhoferova aproximace; Fresnelova aproximace; rozptyl světla; skalární teorie; TIS

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/192395

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-579500


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses